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±â¼úÂü¼ö:

ÁßÇö¼º <0.005mm ¿ÜÇüÄ¡¼ö (WxDxH) 520¡¿580¡¿870mm
precision 0.001mm ´ë¸éÅ©±â 350¡¿270mm
¼±¼ºÁ¤È®µµ 4+L/150um ±â°èÁß·® 100K
Á¤È®µµ 4+L/150um È®´ë¹è¼ö 20 ¹è ~120 ¹è
X ÇàÁ¤ 200mm ±â°è¸éÇýÁß 30Kg
Y ÇàÁ¤ 100mm CCD ä»ö1/3ÀÎÄ¡ 35¸¸È­¼ö

 


±âŸ»ó°ü£º

µ¿È­¿¬½Ã Á¦Ç°»ç¿ë¹æÁ¶ ¹®Á¦Á¡ ¡¡